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真空泵注意事项
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,干式真空泵生产厂家,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),干式真空泵,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
真空泵漏气主要原因
水环式真空泵前后侧盖不同心即前后侧盖有着较大的不同轴度,干式真空泵公司,后果与轴承歪斜的相同。液环温度升高,饱和蒸汽压也随之升高,这样就会降低真空度,但这对排气压力是没有什么影响的。水环真空泵液环发热的原因比较多,有可能是输进液环的温度本来就高,也有可能是供给水或供给液水母不足,以致不能起到冷却的作用而使液环温度升高,还有可能由于它的叶轮和侧盖的摩擦发热促使液环温升,以及轴承发热或泵长期工作等因素所造成。
真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,干式真空泵厂家,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
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