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发布时间:2022-03-06 02:54:00 作者:凯德金科技
真空泵直联旋片泵
随着真空技术在各个应用领域的不断扩大,直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多,加工装配工作量很大,价格又很低,所以有的国外真空厂商在中国建立厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关,价格又远比国外的泵便宜,所以国产泵仍然有竞争优势,关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题,确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠,同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。
真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
真空泵漏气主要原因
水环式真空泵前后侧盖不同心即前后侧盖有着较大的不同轴度,后果与轴承歪斜的相同。液环温度升高,饱和蒸汽压也随之升高,这样就会降低真空度,但这对排气压力是没有什么影响的。水环真空泵液环发热的原因比较多,有可能是输进液环的温度本来就高,也有可能是供给水或供给液水母不足,以致不能起到冷却的作用而使液环温度升高,还有可能由于它的叶轮和侧盖的摩擦发热促使液环温升,以及轴承发热或泵长期工作等因素所造成。
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