天津干式螺杆真空泵厂家常用解决方案「凯德金科技」

真空泵机械安装

在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的极限压力。

按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。

真空泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用，以防真空泵反转喷油。（转向按防护罩指示方向）

对于有冷却水的真空泵，按规定接通冷却水。

如真空泵口安装电磁阀时，阀与真空泵应同时动作。⑼当真空泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。

真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

真空泵如何调节供水量

随着真空泵的使用率愈来愈广泛，在设备使用全过程中挑选合适的操作方式，才可以达到更强的使用效果，为了更好的应用，下面咱们一起了解下真空泵调节供水量的操作方法有哪些吧。

当水环真空泵启动操作的整个过程中，可以说是不断供水，使其压力平衡，并且有着充足的水。由于真空泵的供水量有一定的范围，为了获得标准供水量，节约用水可按下程序调节供水阀。当水环真空泵正常运转后，适当打开供水阀，然后观察入口真空表压力。慢慢关小供水阀得开度，当真空表指针开始波动或下降时，这时的供水量已经不够，重新慢慢打开供水阀门，当真空表指针重新稳定时，这时的供水量为标准供水。