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真空泵直联旋片泵

随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在中国建立厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。

真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

真空泵开机前的检查工作

随着真空泵使用率越来越普遍，它的质量也是越来越高，由于它的特性优势被大家普遍使用，为了大家可以更好的应用，下面咱们了解下真空泵开机前的检查工作有哪些吧。

真空泵为确保真空负压站的正常稳定运行，延长设备的使用寿命，用户每次再开机前应进行一些开机检查工作，开机工作前需谨慎检查水泵的水循环的阀门是否打开。时刻检查真空负压站循环水罐里面的水量以及水的质量，需及时更换。检查外在线路是否全部连接，观察所有仪表是否在标注的位置。除了在每次开机前进行以上项目的检查外，每次使用中、关机还应该按照正确的流程操作，确保下次设备的正常。养成良好的习惯，有效减少设备故障率。

真空泵开机前应做好哪些准备？

1.清理杂物。  

首先要清除真空泵中的尘土，其次是管子中的尘土杂物，尤其是焊接残渣，保证清洁，防止进入泵中造成堵塞卡死。

2.检查真空泵各个部件是否齐全。

检查吸气口和排气口是否正确上紧，所有管路是否安装无误，同时检查冷却水管是否正常。

3.保证齿轮箱润滑油在标准油位。

在不同油位视镜处检查油位，确认油位在油位视镜中线偏上约3mm处，螺杆真空泵的齿轮箱中油过少容易导致齿轮、轴承润滑不足、咬死；过多则容易引起润滑油温度过度升高，导致齿轮噪音或对其他部件的影响。因此，需要注意将油位长期保持在合理范围内。

4.注意冷却水量是否按要求配置。

螺杆真空泵通过水冷夹套对泵体进行冷却，各个型号的冷却水量也有所不同，实际开机前要根据对应型号要求以及环境情况，保证冷却水量是否满足配置需要。

5.检查确认真空机组各个阀门的状态。

工艺入口阀关闭、入口过滤器排污阀关闭、出口管线畅通，出口管排污阀打开、冷却水入口管线和出口管线阀门打开、氮气线阀门打开，吹扫气压力为0.5bar，氮封气压力为3bar，吹扫阀关闭。