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真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

真空泵漏气主要原因

水环式真空泵前后侧盖不同心即前后侧盖有着较大的不同轴度，后果与轴承歪斜的相同。液环温度升高，饱和蒸汽压也随之升高，这样就会降低真空度，但这对排气压力是没有什么影响的。水环真空泵液环发热的原因比较多，有可能是输进液环的温度本来就高，也有可能是供给水或供给液水母不足，以致不能起到冷却的作用而使液环温度升高，还有可能由于它的叶轮和侧盖的摩擦发热促使液环温升，以及轴承发热或泵长期工作等因素所造成。

真空泵如何调节供水量

随着真空泵的使用率愈来愈广泛，在设备使用全过程中挑选合适的操作方式，才可以达到更强的使用效果，为了更好的应用，下面咱们一起了解下真空泵调节供水量的操作方法有哪些吧。

当水环真空泵启动操作的整个过程中，可以说是不断供水，使其压力平衡，并且有着充足的水。由于真空泵的供水量有一定的范围，为了获得标准供水量，节约用水可按下程序调节供水阀。当水环真空泵正常运转后，适当打开供水阀，然后观察入口真空表压力。慢慢关小供水阀得开度，当真空表指针开始波动或下降时，这时的供水量已经不够，重新慢慢打开供水阀门，当真空表指针重新稳定时，这时的供水量为标准供水。

真空泵组轴承温度会异常过高的原因

水环真空机组高负荷运行后，轴承部件的温度会持续升高，甚至超过规定的范围值，如果不及时处理轴承温度升高的问题，会对设备造成严重损失，甚至导致设备无法正常运行。如果加油量不当，润滑脂过少或过多，轴承箱应根据工作要求定期加油，轴承加油后，有时温度较高，主要是加油过多。此时，现象是温度继续上升到达某一点后将保持不变，然后逐渐下降。

水环真空机组的润滑油选择不合适，不易形成均匀的润滑油膜，不能减少轴承内部的摩擦和磨损，润滑不足，轴承温度升高。当不同类型的油混合时，可能会发生化学反应，导致油变质。结块，以减少润滑效果。油污染也会增加轴承温度，在加油过程中落入灰尘，造成油污染，导致轴承箱内油变质，破坏轴承润滑，温度升高。所以应选择合适的油，清洁轴承箱和轴承，检查和疏浚加油管道，不同型号的油不得混合。更换其他型号的油时，应先清理，定期加油，妥善保管防潮防尘措施。