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发布时间:2022-04-19 03:58:00 作者:凯德金科技
真空泵注意事项
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
真空泵干泵
国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。
真空泵术语
真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态真空度处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。
真空度单位通常用托(Torr)为单位,国际上取用帕(Pa)作为单位。
1托=1/760大气压=1毫米柱托与帕的转换1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托平均自由程作无规则热运动的气体粒子,相继两次碰撞所飞越的平均距离,用符号“λ”表示。流量单位时间流过任意截面的气体量,符号用“Q”表示,单位为帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。
真空泵供水量不足的调节方法
水环式真空泵启动后,在整个过程中连续供水,使其压力平衡,并有足够的水。由于真空泵的供水量有一定的范围,为了获得标准的供水量,可以按照程序调节供水阀。水环真空泵正常运行后,适当打开供水阀,观察入口真空计的压力。慢慢关闭小供水阀的开度。当真空表指针开始波动或下降时,供水量不足。慢慢打开供水阀。当真空表指针再次稳定时,供水量为标准供水。当水环式真空泵供水不足时,设备的抽气能力下降,工作不稳定。当供水过多时,会造成水资源浪费,增加泵的轴功率,甚至烧坏电机。水环真空泵的供水量可以调节,我们只需要按照上述方法进行调节,在使用过程中必须做好供水阀的操作。必须正确调整设备的供水量,提高设备的效率。
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